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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：207/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 基于空间机构学的Coude光路装调方法 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 164-170
作者: 张丽敏; 韩西达; 曹玉岩; 王文攀
 caj(722Kb) | 收藏 | 浏览/下载：344/112 | 提交时间：2018/04/09
Coude光路 蒙特卡洛 计算机辅助装调技术 |
| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
 浏览 | Adobe PDF(4130Kb) | 收藏 | 浏览/下载：356/116 | 提交时间：2018/06/13 |
| Coude light path alignment scheme with spatial mechanism 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 8
作者: Zhang, L.; X. Han; Y. Cao and W. Wang
浏览 | Adobe PDF(859Kb) | 收藏 | 浏览/下载：344/107 | 提交时间：2018/06/13 |
| R-C光学系统的计算机辅助装调 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 183-188
作者: 刘波; 丁亚林; 贾继强; 苏东风; 张雷
caj(439Kb) | 收藏 | 浏览/下载：280/97 | 提交时间：2017/09/17
R-c光学系统 计算机辅助装调 Zernike系数 波像差 |
| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang
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| Computer aided alignment of R-C optical system 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 3
作者: Liu, B.; Y. Ding; J. Jia; D. Su and L. Zhang
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| Realizing assisted alignment of three-mirror reflecting optical system by using wavefront sensing test results of phase diversity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 7
作者: Cheng, Q. and D. Xue
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| Coaxial and off-axial hybrid three-mirror optical system with long focal length 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者: Chen, Z.; X. Zhang; C. Chen and J. Ren
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| 离轴四反系统的计算机辅助装调技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 于鑫
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计算机辅助装调 离轴三反 离轴四反 逆向优化 泽尼克 评价
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