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Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者:  Qi, K.-Q.;  Y. Xiang;  Y.-L. Ding;  C. Fang and Z.-P. Zhou
浏览  |  Adobe PDF(644Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/99  |  提交时间：2018/06/13
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/91  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/129  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者:  何煦;  向阳
caj(1178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/117  |  提交时间：2014/03/07
光学测量  波像差  相移式干涉仪  剪切干涉仪  柔性铰链