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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/162  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
浏览  |  Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/133  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/101  |  提交时间：2018/06/13
罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:  周辉;  张善文;  崔继承;  王玮;  赵旭龙;  李晓天
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/156  |  提交时间：2017/09/17
罗兰光栅  刻线误差  曲率半径误差  定位误差  
Study on the Effects and Compensation Effect of Recording Parameters Error on Imaging Performance of Holographic Grating in On-Line Spectral Diagnose 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:  Jiang, Y. X.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. L. Zhao;  N. Wu and W. H. Li
浏览  |  Adobe PDF(524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/80  |  提交时间：2017/09/11
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/109  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:  申远;  王俊杰;  竺长安;  齐向东
caj(926Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/151  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  光机电集成优化  计算傅里叶光学  智能优化  
Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  Yang C.;  Yu H.-L.;  Feng S.-L.;  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Jiang S.;  Tang Y.-G.
浏览  |  Adobe PDF(1639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/145  |  提交时间：2015/04/24
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(1210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/125  |  提交时间：2014/03/07
光栅  平面光栅  光栅刻线弯曲  光栅刻线位置误差  衍射波前  光栅指标