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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
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光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王钰
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自由曲面  计算机辅助装调  矢量波像差理论  人工神经网络  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:376/113  |  提交时间:2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析  
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:429/77  |  提交时间:2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
超宽覆盖空间相机结构设计与优化 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  李畅
Adobe PDF(4446Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:354/2  |  提交时间:2014/08/21
光学表面频段误差对成像质量的影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  曾雪锋
Adobe PDF(20596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:591/2  |  提交时间:2014/08/21
自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王超
Adobe PDF(5325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:545/3  |  提交时间:2014/08/21