中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/108  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
基于多光束干涉的长程轮廓仪 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:  李晶;  巩岩;  廖家胜;  张巍
caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/115  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束器  多光束干涉  
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:  廖家胜;  巩岩;  张巍;  李晶;  李春才;  姚长呈;  闵林
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/130  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束结构  菲涅耳双棱镜