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基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:  周祥燕;  张超;  匡尚奇;  龚学鹏;  杨海贵
caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/130  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  薄膜表征  量子衍生遗传算法  掠入射x射线反射  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜