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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：684/126  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/129  |  提交时间：2018/04/09
全息  全息光栅  干涉条纹锁定  分束光栅  叠栅条纹  
红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 248-254
作者:  曹佃生;  林冠宇;  闻宝朋;  刘旭堂
caj(301Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/94  |  提交时间：2018/04/09
光谱学  双光栅光谱仪  凹面光栅  正弦机构  误差分析  
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/150  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计