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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/145  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/83  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
应用离子束修正高精度CGH基底 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 270-276
作者:  马占龙;  彭利荣;  王高文;  谷勇强
caj(377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/81  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  离子束  计算全息图  透射波前  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/72  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜  
纳米级面形精度光学平面镜加工 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 4, 页码: 616-621
作者:  张峰
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/155  |  提交时间：2015/04/17
光学加工  环带抛光  离子束抛光  材料去除函数