Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 应用离子束修正高精度CGH基底 | |
马占龙 ; 彭利荣; 王高文; 谷勇强
| |
| 2016-04-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 2页码:270-276 |
| 摘要 | 计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。 |
| 关键词 | 光学制造 离子束 计算全息图 透射波前 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57673 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马占龙,彭利荣,王高文,等. 应用离子束修正高精度CGH基底[J]. 中国光学,2016(2):270-276. |
| APA | 马占龙,彭利荣,王高文,&谷勇强.(2016).应用离子束修正高精度CGH基底.中国光学(2),270-276. |
| MLA | 马占龙,et al."应用离子束修正高精度CGH基底".中国光学 .2(2016):270-276. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 应用离子束修正高精度CGH基底.caj（377KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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