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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:  Meng, Zhu;  Tan, Xin;  Bayanheshig;  Wang, Wei;  Liu, Zhao-Wu;  Zhao, Xu-Long
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Error compensation  Monochromators  Ray tracing  
Experimental Study on Micro Quantitative Phase Imaging by Quadriwave Shearing Interferometry 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 7
作者:  Cui, Bo-Chuan;  Wang, Jian-Li;  Yao, Kai-Nan;  Chen, Tao
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Interferometry  Fast Fourier transforms  Interferometers  MEMS  Phase measurement  Phase modulation  Shearing  Wavefronts  
Fabrication and testing of large aspheric system based on common reference 期刊论文
Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 743-748
作者:  Wang Xiao-kun, 王孝坤;  Xue Dong-lin, 薛栋林;  Zhang Xue-jun, 张学军
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Optical testing  Aspherics  Fabrication  Ion beams  Mirrors