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Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Jiang, Y.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. Zhao;  W. Li and N. Wu
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Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
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Manufacture of Silicon Modification Layer on Silicon Carbide Surface by Magnetorheological Finishing 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Bai, Y.;  F. Zhang;  L. Li;  L. Zheng and X. Zhang
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