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TFT阵列金属电极的制备与性能 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 260-267
作者:  王大海;  杨柏梁;  吴渊;  刘传珍;  李牧菊;  李轶华;  张玉;  廖燕平
caj(111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/69  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  Tft器件  溅射速率  金属薄膜