中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究学位论文博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 糜小涛 caj(5660Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：142/0 \| 提交时间：2019/09/23 衍射光栅光栅刻划机微定位系统控制器设计刻线误差测量系统余弦误差阿贝误差大气折射率衍射波前基底面形误差镀膜均匀性
	大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计期刊论文仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480 作者: 糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东 caj(515Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：308/93 \| 提交时间：2016/07/06 微定位系统控制器设计数学模型定位精度

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