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亚波长角向偏振金属光栅设计方法与制造技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  朱春霖
caj(7565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2020/08/24
亚波长角向偏振金属光栅  粒子群最优化算法  分步优化设计  电沉积在线监测  超声辅助电沉积  
电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者:  朱春霖;  胡昊;  焦庆斌;  谭鑫;  巴音贺希格
caj(5217Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：126/33  |  提交时间：2020/08/24
金属光栅  在线监测  严格耦合波理论  占宽比  电流密度  能量损耗  
单晶硅研磨过程的声发射在线监测研究 期刊论文
传感技术学报, 2016, 期号: 4, 页码: 606-613
作者:  崔涛
caj(2239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：187/68  |  提交时间：2017/09/17
研磨  声发射  在线监测  单晶硅  材料去除率  
多层AlGaAs的时间分辨归一化反射率及各向异性反射率谱在线监测及分析 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 05, 页码: 509-513
作者:  张建伟;  宁永强;  张星;  张建;  徐华伟;  张金龙;  曾玉刚;  王立军
caj(293Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/149  |  提交时间：2013/03/11
归一化反射率  各向异性反射率  在线监测技术  Mocvd  
近红外光谱分析技术预测煤质挥发分含量模型的研究 期刊论文
热能动力工程, 2003, 期号: 06, 页码: 582-584+649-650
作者:  李凤瑞;  唐玉国;  肖宝兰
caj(56Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/80  |  提交时间：2013/03/11
近红外光谱  煤质  在线监测  挥发分  
等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96
作者:  米宝永
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/40  |  提交时间：2013/03/11
等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法  
大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80
作者:  米宝永
caj(257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/94  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点  
刀具磨损在线监测的数据处理 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1993, 期号: 03, 页码: 54-58
作者:  都业辉;  杨建东
收藏  |  浏览/下载：306/0  |  提交时间：2013/03/11
刀具磨损  在线监测  数据处理  
采样间隔趋于零时A(2)模型的退化 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1991, 期号: 02, 页码: 49-53
作者:  杨建东
收藏  |  浏览/下载：296/0  |  提交时间：2013/03/11
在线监测  时序  模型  采样  
刀具磨损与动态切削力关系的探讨 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1990, 期号: 02, 页码: 61-66
作者:  杨建东
收藏  |  浏览/下载：287/0  |  提交时间：2013/03/11
刀具磨损  在线监测  切削力