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点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/107  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析