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星载多谱段双视场紫外大气探测仪 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2101-2108
作者:  薛庆生
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/116  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  紫外大气探测仪  多谱段双视场紫外探测仪  紫外滤光片  
采样点分布对基于面形斜率径向基模型的自由曲面拟合精度的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1564-1572
作者:  武鹏飞;  张赞;  郑义;  张娟;  王尧尧;  赵星;  王灵杰;  伍雁雄
caj(540Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/110  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  自由曲面  拟合精度  采样点分布  
掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析