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| 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者: 齐克奇 ; 向阳
 caj(1097Kb) |  收藏 | 浏览/下载：511/116 | 提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜 波像差 相移测量 桥式放大机构 有限元 |
| 地球临边/天底同时探测的紫外环形成像仪 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 153-159
作者: 于向阳; 王淑荣; 黄煜; 林冠宇
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成像系统 紫外环形成像仪 光学设计 紫外遥感 多方位成像探测 |
| 宽波段单色仪多级谱高精度波长定标 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2012, 期号: 10, 页码: 2870-2874
作者: 张子辉; 王淑荣; 黄煜; 李博; 于向阳; 林冠宇
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光谱学 波长定标 寻峰 多级谱 高斯拟合 |
| 空气悬挂半挂液罐车车架的有限元分析 期刊论文
科学技术与工程, 2012, 期号: 26, 页码: 6610-6613+6617
作者: 于向阳
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路面随机激励 有限元分析 半挂车 流固耦合 |
| 双光路成像干涉定心系统设计 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1180-1185
作者: 方超; 向阳
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测量 准直测量 干涉测量 双光路 |
| 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 齐克奇; 向阳
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| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 向阳; 齐克奇
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| 一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 何煦; 向阳
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| 一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
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| 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
Adobe PDF(356Kb) | 收藏 | 浏览/下载：508/71 | 提交时间：2012/08/29 |
