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| 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 齐克奇 ; 向阳
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| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 向阳; 齐克奇
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| 一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 何煦; 向阳
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| 一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
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| 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
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| 一种高精度系统波像差检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 向阳; 于长淞
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| 一种具有实入瞳的远心离轴三反镜光学成像系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-18, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 刘晓梅; 向阳
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