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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [9]
作者
巩岩 [1]
薛金来 [1]
李佃蒙 [1]
文献类型
期刊论文 [10]
发表日期
2018 [1]
2011 [5]
2009 [1]
2008 [2]
2006 [1]
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光学学报 [4]
光学 精密工程 [2]
光学精密工程 [2]
Chinese Op... [1]
宇航学报 [1]
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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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浏览/下载:318/106
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2954-2962
作者:
赵磊
;
巩岩
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提交时间:2012/05/11
光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:
袁文全
;
巩岩
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浏览/下载:428/125
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提交时间:2012/05/11
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112001-1
作者:
巩岩
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浏览/下载:591/151
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提交时间:2012/05/11
深紫外光刻照明系统扩束单元设计
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:
赵阳
;
巩岩
;
张巍
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浏览/下载:423/153
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提交时间:2012/05/11
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 29-34
作者:
巩岩
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浏览/下载:408/136
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提交时间:2012/05/11
掠入射光学系统设计
期刊论文
光学学报, 2009, 卷号: 8, 期号: 29, 页码: 2276
作者:
巩岩
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浏览/下载:209/28
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提交时间:2012/09/25
投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计
期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:
张巍
;
巩岩
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提交时间:2012/09/25
动态星图显示算法的设计与实现
期刊论文
宇航学报, 2008, 期号: 3
作者:
巩岩
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浏览/下载:260/54
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提交时间:2012/09/25
极紫外太阳望远镜成像质量检测系统设计
期刊论文
光学精密工程, 2006, 卷号: 6, 期号: 14, 页码: 969
作者:
巩岩
caj(229Kb)
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提交时间:2012/09/25