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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2954-2962
作者:  赵磊;  巩岩
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光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
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长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112001-1
作者:  巩岩
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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 29-34
作者:  巩岩
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掠入射光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2009, 卷号: 8, 期号: 29, 页码: 2276
作者:  巩岩
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投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:  张巍;  巩岩
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动态星图显示算法的设计与实现 期刊论文
宇航学报, 2008, 期号: 3
作者:  巩岩
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极紫外太阳望远镜成像质量检测系统设计 期刊论文
光学精密工程, 2006, 卷号: 6, 期号: 14, 页码: 969
作者:  巩岩
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:361/52  |  提交时间:2012/09/25