Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 | |
张巍 ; 巩岩
| |
| 2008-11-03 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 11 |
| 摘要 | 离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23078 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张巍,巩岩. 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计[J]. 光学精密工程,2008(11). |
| APA | 张巍,&巩岩.(2008).投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计.光学精密工程(11). |
| MLA | 张巍,et al."投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计".光学精密工程 .11(2008). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计.ca（487KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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