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疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计 期刊论文
光电子·激光, 2016, 期号: 3, 页码: 291-297
作者:  刘江;  苗二龙;  于长淞;  隋永新;  杨怀江
caj(2380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/113  |  提交时间：2017/09/17
波前编码(Wfc)  显微物镜  景深  分辨率  光学检测  
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/103  |  提交时间：2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪