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点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 24-26+30
作者:  于长淞
caj(1837Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/138  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  小孔掩模  聚焦离子束  扫描电镜  
一种高精度系统波像差检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  向阳;  于长淞
Adobe PDF(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：466/63  |  提交时间：2012/08/29