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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
Adobe PDF(685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/104  |  提交时间：2019/09/17
Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 期刊论文
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 03, 页码: 33-39
作者:  于长淞;  向阳
caj(1034Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/113  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  小孔掩模  电磁场仿真  波像差  
点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 24-26+30
作者:  于长淞
caj(1837Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/138  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  小孔掩模  聚焦离子束  扫描电镜