CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究
于长淞
2012-12-15
发表期刊长春理工大学学报(自然科学版)
期号04页码:24-26+30
关键词光学器件 小孔掩模 聚焦离子束 扫描电镜
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27452
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
于长淞. 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(04):24-26+30.
APA 于长淞.(2012).点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究.长春理工大学学报(自然科学版)(04),24-26+30.
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