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基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208
作者:  周连生;  于新峰;  吴志会;  芮大为;  张巍
caj(1405Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/94  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载  
光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者:  芮大为;  史振广;  袁文全;  张巍
caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/97  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光刻物镜  光瞳极平衡  远心度