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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
溅射法制备多层膜沉积速率的标定 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 待定
作者:  张立超
caj(215Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/69  |  提交时间：2012/09/25
极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 10, 页码: 2849-2854
作者:  金春水;  张立超;  王丽萍
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/57  |  提交时间：2012/09/25
采用多种群遗传算法的全景成像系统非球面设计 期刊论文
光学精密工程, 2009, 卷号: 5, 期号: 17, 页码: 1020
作者:  张立超;  何锋云
caj(294Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/45  |  提交时间：2012/09/25
基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  金春水;  张立超
caj(747Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/31  |  提交时间：2012/09/25
极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差 期刊论文
光子学报, 2006, 期号: 5
作者:  金春水;  张立超
caj(186Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/15  |  提交时间：2012/09/25