Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数 | |
金春水 ; 张立超
| |
| 2008-09-01 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 9 |
| 摘要 | 提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法。与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上。该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响,在混合优化算法的基础上,使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200~800nm)的光学常数;优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式,提高了拟合质量和速度,得到了理想的结果,光谱曲线拟合误差<2%。在确定了铝光学常数的基础上,镀制了单腔紫外诱导透射滤光片,测量的透过率光谱与设计结果在265nm处的峰值透过率偏差<1%。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23240 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,张立超. 基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数[J]. 光学精密工程,2008(9). |
| APA | 金春水,&张立超.(2008).基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数.光学精密工程(9). |
| MLA | 金春水,et al."基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数".光学精密工程 .9(2008). |
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