Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差 | |
金春水; 张立超 | |
2006-05-30 | |
发表期刊 | 光子学报 |
ISSN | 1004-4213 |
期号 | 5 |
摘要 | 讨论了极紫外投影光刻掩模的反射光谱随多层膜参量的变化,通过曲线拟合得到了峰值反射率、带宽和中心波长与多层膜粗糙度、材料比值以及周期厚度的9个函数关系·模拟了6镜极紫外投影光刻系统的反射光谱,并计算了晶圆片处的相对照明强度·分析了由掩模在晶圆片处引入的照明误差,给出了照明误差的合成公式· |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22931 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,张立超. 极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差[J]. 光子学报,2006(5). |
APA | 金春水,&张立超.(2006).极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差.光子学报(5). |
MLA | 金春水,et al."极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差".光子学报 .5(2006). |
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