Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差 | |
金春水 ; 张立超
| |
| 2006-05-30 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| ISSN | 1004-4213 |
| 期号 | 5 |
| 摘要 | 讨论了极紫外投影光刻掩模的反射光谱随多层膜参量的变化,通过曲线拟合得到了峰值反射率、带宽和中心波长与多层膜粗糙度、材料比值以及周期厚度的9个函数关系·模拟了6镜极紫外投影光刻系统的反射光谱,并计算了晶圆片处的相对照明强度·分析了由掩模在晶圆片处引入的照明误差,给出了照明误差的合成公式· |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22931 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,张立超. 极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差[J]. 光子学报,2006(5). |
| APA | 金春水,&张立超.(2006).极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差.光子学报(5). |
| MLA | 金春水,et al."极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差".光子学报 .5(2006). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差.c（186KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论