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利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/103  |  提交时间：2016/07/06
几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式  
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/103  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性  
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167
作者:  赵阳;  巩岩
caj(1508Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/72  |  提交时间：2013/03/11
几何光学  非平行反射扩束单元  子光束叠加  照明均匀性  
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
Adobe PDF(1374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/150  |  提交时间：2012/05/11