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Design method for off-axis aspheric reflective optical system with extremely low aberration and large field of view 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 32, 页码: 10185-10193
作者:  Y. Wu,L. P. Wang,J. Yu,B. Yu and C. S. Jin
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Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
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adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
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