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| 一种高吸收率辐射吸收腔 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-04, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方伟 ; 方茜茜; 杨东军; 王玉鹏
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| 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳
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| 反射镜高精度装夹装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 王平; 田伟; 王汝冬; 王立朋; 隋永新; 杨怀江
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| 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊
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| 一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
发明人: 巩岩; 倪明阳; 赵磊; 张巍; 王学亮; 袁文全
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| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 赵磊; 张巍; 倪明阳
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| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全
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