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软X射线多层膜光栅 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 02, 页码: 1-7
作者:  曹召良;  张立超;  曹健林
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/65  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  光栅  
极紫外投影光刻掩模技术 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 16-21+41
作者:  杨雄;  金春水;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/64  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  投影光刻  多层膜  掩模  
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:  王占山;  刘毅楠;  曹健林
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/59  |  提交时间：2013/03/11
接触式显微术  光刻胶  溶解速率  
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 47-52
作者:  乐孜纯;  梁静秋;  姚劲松;  李春;  叶露;  曹健林;  邢红梅
caj(54Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/68  |  提交时间：2013/03/11
Bragg－fresnel元件  衍射图形  微制造技术  
X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究 期刊论文
微细加工技术, 1997, 期号: 01, 页码: 35-40
作者:  乐孜纯;  梁静秋;  马月英;  崔承甲;  裴舒;  姚劲松;  曹健林
caj(155Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/50  |  提交时间：2013/03/11
Bragg－fersnel元件  多层膜结构  热稳定性  化学稳定性