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X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究
乐孜纯; 梁静秋; 马月英; 崔承甲; 裴舒; 姚劲松; 曹健林
1997-03-30
发表期刊微细加工技术
期号01页码:35-40
关键词Bragg-fersnel元件 多层膜结构 热稳定性 化学稳定性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31049
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
乐孜纯,梁静秋,马月英,等. X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究[J]. 微细加工技术,1997(01):35-40.
APA 乐孜纯.,梁静秋.,马月英.,崔承甲.,裴舒.,...&曹健林.(1997).X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究.微细加工技术(01),35-40.
MLA 乐孜纯,et al."X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究".微细加工技术 .01(1997):35-40.
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