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| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉 ; 周烽; 王丽萍; 金春水
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| 转台回转限位机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王志臣; 王志; 赵勇志; 王槐; 周超
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| 一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王辉; 郑琪峰; 周烽; 王丽萍
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| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 郑琪峰; 王丽萍; 金春水
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| 一种微小型光纤光谱仪狭缝的制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-12-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 吴一辉; 贾宏光; 周连群; 张平; 鞠挥; 宣明
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| 一种微小型光纤光谱仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-11-19, 公开日期: 2008-11-19
发明人: 吴一辉; 贾宏光; 周连群; 张平; 鞠挥; 宣明
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| 微小型光纤光谱仪的结构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2006-05-31
发明人: 吴一辉; 贾宏光; 周连群; 张平; 鞠挥; 宣明
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| 低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-07-21, 公开日期: 2004-07-21
发明人: 宋航; 周天明; 蒋红; 金亿鑫; 张宝林; 缪国庆
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| 气体微水监测方法及装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-06-30, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 周天明; 蒋红; 缪国庆; 宋航; 金亿鑫
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| 半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-04-07, 公开日期: 2004-04-07
发明人: 宋航; 周天明; 张宝林; 蒋红; 金亿鑫; 缪国庆
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