中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种微小型光纤光谱仪狭缝的制作方法 (发明)
	吴一辉; 贾宏光; 周连群; 张平; 鞠挥; 宣明
	2008-12-24
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种微小型光纤光谱仪狭缝的制作方法。首先对狭缝坯体氧化、涂胶、光刻形成带凹坑图形，腐蚀、去胶，然后涂胶、光刻形成狭缝孔图形，再ＩＣＰ刻蚀或湿法腐蚀，形成不通透沟槽的狭缝坯体并去胶，ＩＣＰ刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝，使微小型光纤光谱仪结构紧凑、体积小、降低制作……
资助项目	101327905
申请号	200810134457.6
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11506
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴一辉,贾宏光,周连群,等. 一种微小型光纤光谱仪狭缝的制作方法 (发明)[P]. 2008-12-24.

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CN200810132790500000（484KB）			开放获取	--	浏览 下载

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