低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器 (发明)

	低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器 (发明)
	宋航; 周天明; 蒋红; 金亿鑫; 张宝林; 缪国庆
	2004-07-21
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2004-07-21
专利类型	发明专利
摘要	本发明提供一种在低压化学气相淀积尾气处理系统中使用的可防止自身返油的水汽隔离油过滤器，采用进气空间多层隔离板附加挡油板及光滑表面金属丝的结构。正常工作时，气体可以自由通过，如果系统故障或误操作使出气端压力高于进气端，在返油过程中，油滴遇到挡油板阻拦，部分回落，部分存留于最低子空间，通过多级子空间，可消除油滴返入系统。对……
资助项目	1158131
申请号	133596
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10928
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	宋航,周天明,蒋红,等. 低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器 (发明)[P]. 2004-07-21.