中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备 (发明)
	宋航; 周天明; 张宝林; 蒋红; 金亿鑫; 缪国庆
	2004-04-07
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2004-04-07
专利类型	发明专利
摘要	本发明是能够回收半导体材料外延过程所产生废气中剧毒物质砷微粒的设备。由密封桶、放水口、隔板、进气管、桶底、旋转轴、导流板、离心桶、桶盖、排气管、进水管、喷头、吸泵、填充物、电机组成。采用水与废气反向流动，通过无规则排列的的填充物增加接触机会，使废气中的砷等有害蒸汽有效冷凝被水携带走，减少大气排入量。水通过导流板引入高速……
资助项目	1144611
申请号	133595.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10929
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	宋航,周天明,张宝林,等. 半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备 (发明)[P]. 2004-04-07.

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CN200200135403500000（264KB）			开放获取	--	浏览 下载

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