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光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/129  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散