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光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
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光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/91  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差  
近似三角波莫尔条纹光电信号的细分误差修正 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 114-118
作者:  冯英翘;  万秋华;  孙莹;  杨守旺;  赵长海
caj(1044Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/188  |  提交时间：2014/03/07
信号处理  光电编码器  精度  修正  莫尔条纹  细分误差