中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR
（本次检索基于用户作品认领结果）

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Two-step algorithm for removing the rotationally asymmetric systemic errors on grating lateral shearing interferometer 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 14267-14277
作者:  Zhang, L.;  Qi, K. Q.;  Xiang, Y.
浏览  |  Adobe PDF(2930Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：234/95  |  提交时间：2019/09/17
spherical surfaces  absolute  deviation  metrology  flat  maps  Optics  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：192/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差