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| 离子注入机 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-10-25, 公开日期: 2006-10-25
发明人: 付国柱; 邵喜斌; 荆海; 廖燕平; 高文涛; 史辉琨
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| 多晶硅的定向生长方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2006-05-31
发明人: 廖燕平; 邵喜斌; 邝俊峰; 荆海; 付国柱; 骆文生; 郜峰利; 缪国庆
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| 多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2005-01-19, 公开日期: 2005-01-19
发明人: 付国柱; 邵喜斌; 荆海; 廖燕平; 高文涛; 史辉琨
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| 一种可改变模拟目标空间角度的旋转靶标 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2005-01-05, 公开日期: 2005-01-05
发明人: 贺庚贤; 沈湘衡; 姬琪 ; 高虹; 张波
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| 制备多晶硅的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-11-10, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 廖燕平; 邵喜斌; 付国柱; 荆海; 郜峰利; 缪国庆
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