Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型) | |
| 付国柱; 邵喜斌; 荆海; 廖燕平; 高文涛; 史辉琨 | |
| 2005-01-19 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2005-01-19 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于半导体器件制作技术领域，是一种多晶硅薄膜晶体管离子注入机。本实用新型包含有真空室，抽气装置，气路部分，电控制器。本实用新型的气路部分通过配气截止阀同真空室连接，向真空室运送所要注入的气体。抽气装置通过角阀和闸板阀同真空室连接，利用真空泵使真空室保持一定的真空度。电控制器连接所有的用电部件，作为本实用新型的…… |
| 资助项目 | 2672854 |
| 申请号 | 200320112910.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12393 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付国柱,邵喜斌,荆海,等. 多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型)[P]. 2005-01-19. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200500267285400000（386KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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