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| 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者: 陈华; 苏东奇 ; 隋永新; 章明朝; 田伟; 杨怀江; 张巍
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成像系统 热像差 主动补偿 光刻机 投影物镜 |
| 大气相干长度的稳定测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210264328.5, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人: 宣 丽; 胡立发; 穆全全; 曹召良; 彭增辉; 杨程亮; 陈浩; 刘永刚; 姚丽双; 李大禹; 夏明亮; 鲁兴海
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| 高精度曲率半径测量研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者: 彭石军; 苗二龙; 史振广; 陈华; 隋永新; 杨怀江
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测量 曲率半径 轴向对准误差 环境补偿 菲佐干涉仪 |
| Design of prism-grating imaging spectrometer with eliminating spectral line curvature 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者: Chen H.; Gong Y.; Luo C.; Peng J.
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| Thermal noise analysis and correction of infrared conformal dome 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 10
作者: Wang C.; Chen J.; Wei Q.; Jia H.; Yu L.; Zhang T.
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| Active compensation of thermal aberrations in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者: Chen H.; Su D.; Sui Y.; Zhang M.; Tian W.; Yang H.; Zhang W.
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| Development and calibration of the Moon-based EUV camera for Chang'e-3 期刊论文
Research in Astronomy and Astrophysics, 2014, 卷号: 14, 期号: 12, 页码: 1654-1663
作者: Chen B.; Song K. F.; Li Z. H.; Wu Q. W.; Ni Q. L.; Wang X. D.; Xie J. J.; Liu S. J.; He L. P.; He F.; Wang X. G.; Zhang H. J.; Wang H. F.; Zheng X.; E S. L.; Wang Y. C.; Yu T.; Sun L.; Wang J. L.; Wang Z.; Yang L.; Hu Q. L.; Qiao K.; Wang Z. S.; Yang X. W.; Bao H. M.; Liu W. G.; Li Z.; Chen Y.; Gao Y.; Sun H.; Chen W. C.
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| Method of pedestal component elimination based on line CCD for spatial-filter velocimetry signal 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 2
作者: Zheng L.; Kuang H.; Li W.; Leng X.; Yuan G.; Chen X.
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| Design of compact middle-wave infrared camera used on airborne platform 期刊论文
Zhongguo Jiguang/中文 Journal of Lasers, 2014, 卷号: 41, 期号: 8
作者: Xu X.; Chen N.; Wang B.; Gao Y.; Yang H.
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| Harmonic analysis application in accuracy improvement of precise turntable 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2014, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 274-278
作者: Su Y.; Zhang J.; Chen B.; Yang F.; Zhao H.
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