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基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：558/136  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑  
干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135
作者:  周烽;  王辉;  王丽萍
caj(404Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/140  |  提交时间：2013/03/11
测量  稳定性分析  干涉测量框架  有限元分析  随机振动分析  
点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(983Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：473/83  |  提交时间：2013/03/11
测量  标定算法  波前参考源  相移点衍射干涉仪