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Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
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Image quality evaluation of Wolter X-ray nested telescope 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:  Zhao, D.;  B. Chen;  P. Liu and L. He
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Mineral spectrum measurement based on shortwave infrared imaging spectrometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Sun, C.;  X. Yao;  J. Cui;  L. Yin and J. Yang
浏览  |  Adobe PDF(1425Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/68  |  提交时间：2017/09/11
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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Foundation and application of model for multilayers analysis in extreme ultra-violet lithography projection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Wang J.;  Jin C.;  Wang L.;  Guo B.;  Yu B.
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/78  |  提交时间：2015/04/24