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Design of large aperture ultraviolet optical system for ultraviolet camera 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 212-218
作者:  Cui, Mu-Han;  Tian, Zhi-Hui;  Zhou, Yue;  Zhang, Ming-Chao;  Chen, Xue;  Li, Jia-Qi;  Yi, Xiang-Yu
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Optical systems  Aberrations  Calcium fluoride  Cameras  Electric corona  Energy utilization  Fits and tolerances  Fluorine compounds  Fluorspar  Fused silica  Lenses  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Useful way to compensate for intrinsic birefringence caused by calcium fluoride in optical lithography systems 期刊论文
Chinese Optics Letters, 2018, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 5
作者:  Zhou, Z. L.;  Shang, H. B.;  Sui, Y. X.;  Yang, H. J.
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Optics