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| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 丛敏 caj(6456Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:97/0  |  提交时间:2020/08/24 光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 3027-3033 作者: 丛敏; 齐向东; 糜小涛; 于海利; 李晓天; 卢禹先 caj(297Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:493/132  |  提交时间:2018/04/09 光栅拼接 光栅复制 拼接误差 误差分析 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格 caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:378/140  |  提交时间:2018/04/09 光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan 浏览  |  Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:343/119  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig 浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:273/82  |  提交时间:2018/06/13 |
| 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31 作者: 卢禹先; 齐向东; 糜小涛; 姜珊; 于海利; 李晓天; 尹禄 caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/119  |  提交时间:2017/09/17 衍射 光栅拼接 干涉仪 衍射波前 拼接误差 |
| 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231 作者: 卢禹先; 齐向东; 于海利; 李晓天; 张善文; 姜珊; 尹禄 caj(1457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:350/98  |  提交时间:2017/09/17 衍射 拼接精度 夫琅禾费原理 复制拼接技术 |
| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:318/103  |  提交时间:2017/09/11 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin 浏览  |  Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:288/73  |  提交时间:2017/09/11 |
| Testing methods of high-gradient conformal aspheric surfaces based on annular sub-aperture stitching 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4 作者: Wang, H.; M. Ming; T. Lv and H. Zou 浏览  |  Adobe PDF(676Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/103  |  提交时间:2017/09/11 |