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一种去除碳化硅基底上硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310066232.2, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18
发明人:  王彤彤;  高劲松;  王笑夷
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一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张海涛;  裴舒;  马冬梅;  金春水
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基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18
发明人:  白越;  吴一辉;  黄敦新
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夹心免疫检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-03-18, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  孔祥贵;  张友林;  曾庆辉;  孙雅娟;  刘晓敏
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用于光学加工的真空自励研磨抛光工具 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2352308, 申请日期: 1999-12-08, 公开日期: 1999-12-08
发明人:  张忠玉;  余景池
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