中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 李朋志 caj(10011Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：146/0 \| 提交时间：2020/08/24 光刻物镜压电促动器迟滞模糊运动控制像差补偿
	压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 吴伊玲 Adobe PDF(2287Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：384/2 \| 提交时间：2016/04/11 压电陶瓷两维偏摆镜驱动控制系统改进非对称pi迟滞模型前馈pid控制
	压电陶瓷迟滞逆模型的前馈PID控制期刊论文压电与声光, 2014, 期号: 6, 页码: 914-916 作者: 赵广义; 王伟国; 李博; 张振东; 兰斌 caj(164Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：330/116 \| 提交时间：2015/04/17 压电陶瓷迟滞非线性 Prseisach逆模型前馈比例、积分、微分(Pid)控制
	压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 赵广义 Adobe PDF(1437Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：509/2 \| 提交时间：2015/05/03 压电陶瓷两维摆镜动态迟滞模型前馈pid 控制

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