中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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2016 [2]

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	深紫外光刻投影物镜温度特性研究期刊论文中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1486Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：342/131 \| 提交时间：2017/09/17 光学制造光刻投影物镜温度分布模型仿真分析热像差
	Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Yao, C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(8729Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：289/112 \| 提交时间：2017/09/11

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